열 마진 (Thermal Budget) 계산기
정션(Junction) 형성 이후 공정의 온도와 시간에 따른 누적 열 이력을 계산합니다.
Cumulative Thermal Budget
Total Effective Dt (Normalized)
1.000
상대적 확산 거리 지표 (Normalized to 400℃, 10min)
PI Integration Note
Thermal Budget 관리는 BEOL(Back End) 공정에서 더욱 중요합니다. 알루미늄이나 구리 배선, 유기 절연막(Low-k)의 열적 변형이나 정션 전후의 확산을 최소화하기 위해 **누적 Dt**를 임계값 이하로 유지해야 합니다.